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中國蘇州MEMS微納制造、傳感器展展商名錄/電子會刊
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展會基本信息
展商行業(yè)
MEMS器件：光學MEMS、射頻MEMS、MEMS物理傳感器(加速傳感器、速率傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器)、微射流(微流引導、微感應器等)；MEMS執(zhí)行器；MEMS電能(燃料電池、微發(fā)電機等)；高復合型MEMS(CMOS/MEMSLSI/MEMS 一體化)
MEMS代工服務：仿真設計、原型測試、產品開發(fā)、量產；其他代工服務：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍
MEMS應用：產品 (麥克風、顯示等)；超微型機械人裝置、微型工廠等；傳感器網(wǎng)絡；能量收集
MEMS加工設備：薄膜成形(汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統(tǒng)、蝕刻技術；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片；導線焊接；封裝；微成形(注射、熱壓)；其他生產設備
分析與檢測儀器：光量缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng)；顯微鏡：光學顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負離子空氣凈化機；氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)
納米機械微制程技術：超精度納米機械工藝；超精密加工、微制造；表面微加工；精細鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統(tǒng)；微放電加工；超聲波設備等
材料：壓電薄膜材料(ZnO、AIN、PZT)、抗壓材料、附著材料、保護材料；碳納米管、藍寶石、聚合物、陶瓷；SiC；磁性材料、鐵電性材料
納米壓印技術：微納米模型；納米壓印生產設備
生物技術與醫(yī)療應用：MEMS在醫(yī)療處理及診斷方面的應用、DDS、納米膠囊；尖端DNA& RNA 技術、微反應器、微流引導、生物/化學MEMS(DNARNA技術、化學檢測)等
現(xiàn)場圖片
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